说起芯片,大家都知道光刻机是芯片制造中的关键设备,而荷兰的ASML是光刻机的龙头企业,垄断了中高端光刻机80%以上的市场,至于国内的光刻机较之ASML则差得远了。
所以大家一说中国芯要发展,光刻机的问题是要解决的。事实上目前国内在光刻机方面,已经买到了ASML的最新光刻机,这一方面不用太担心了。
比如中芯国际从ASML采购了一台EUV极紫外线光刻机,可用于生产7nm的芯片。而华虹半导体从ASML采购了一台193nm双级沉浸式光刻机,可用于生产14-20nm的NAND闪存芯片。
但是大家知道么,ASML之所以能够在光刻机领域垄断全球,处于目前的地位,背后一位华为功不可没,要不是这位华为提供的技术,说不定ASML就未必有今天的成就。
这位华人就是林本坚,越南人,他曾在IBM工作,后面来到台积电工作。
在他之前,光刻机采用的是干式的,以空气为介质,而IBM提想用光做为介质,而在台积电工作的林本坚在2006年左右则提出应该以水为介质,做浸润式的光刻机。
当时ASML只是个落后的小厂,尼康、佳能是大厂采用的是干式光刻机,而ASML没办法,跟着台积电的步子去生产浸润式的光刻机。
谁知道这个关键节点被踩准了,2007年ASML推出了193nm光源的浸没式系统,在原有光源与镜头的条件下,能显著提升蚀刻精度,一举垄断了市场,最后尼康、佳能等由于没跟上步伐,慢慢的在光刻机领域均落后于ASML。
现在回过头来看,从2007年开始到现在,基本上所有的芯片都是采用浸没式光刻系统制造的,后续虽然刻录机发展为EUV极紫光刻机,但也是以浸没式光学技术为基础来的。
所以说林本坚真的是ASML背后的大功臣,而ASML也是在落后的情况下一赌,就赌成功了,否则哪会有今天的地位,至于尼康、佳能等赌错了方向,自然也就没落了。