金融界2025年6月3日消息,国家知识产权局信息显示,苏州希景微机电科技有限公司取得一项名为“振镜测试装置”的专利,授权公告号CN222938708U,申请日期为2024年08月。
专利摘要显示,本申请涉及MEMS振镜测试技术领域,尤其涉及一种振镜测试装置。振镜测试装置包括料盘、料盘驱动模块、激光器、振镜驱动模块、光束接收屏和图像采集模块。料盘用于承载至少两个振镜模组,振镜模组包括振镜。料盘驱动模块与料盘连接,用于驱动料盘移动,以使至少两个振镜模组中的任意一个移动至预设位置。激光器用于生成激光束,预设位置位于激光束的光路上。振镜驱动模块用于与位于预设位置的振镜模组电连接,以驱动振镜转动。光束接收屏,用于接收经由振镜反射的激光束。图像采集模块用于获取激光束于光束接收屏形成的图案。