晶瑞股份:公司购买的ASMLXT 1900 Gi型ArF浸入式光刻机目前处于设备调试阶段,同时Arf光刻胶的研发正在进行中

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:董秘你好,请问贵公司购买的光刻机是否已经安装调试完毕?能否开始验证Arf光刻胶了?公司预计需用多长时间能研制出Art光刻胶样品?

晶瑞股份(300655.SZ)8月1日在投资者互动平台表示,尊敬的投资者您好!公司购买的ASMLXT 1900 Gi型ArF浸入式光刻机目前处于设备调试阶段,同时Arf光刻胶的研发正在进行中。鉴于光刻胶紧缺的行业现状及我国光刻胶国产替代的紧迫需求,公司正在加大力度组织各方有利资源加速研发,力求尽早完成ArF光刻胶的配方定型及向下游产业批量供应。感谢您对公司的关注与支持!

(记者 蔡鼎)

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