手机厂商们所需要的芯片来源于台积电、三星等上游厂商，而制造高端芯片的设备来自于哪？ASML，作为一家荷兰公司你可能并不知道它的名字，因为它是上游厂商的上游。它还有一个头衔，那就是全球最大的光刻系统供应商。ASML垄断着极紫外光刻机的生产，而这款设备是台积电和三星在大批量芯片生产中使用的最高端硬件。

日前，ASML产品营销总监Mike Lercel向媒体分享了极紫外光刻机(EUV)研发的最新进展。根据他的介绍，ASML目前有两款EUV光刻机作为主力产品，型号分别为NXE：3400B和3400C，这两款设备的数值孔径(NA)均为0.33，其中3400C型号目前的可用性已经达到90%左右。

Mike Lercel表示，型号为NXE：3600D的极紫外光刻机预计今年年底前开始交付，这个型号相较于3400C型有着不小的提升。例如30mJ/cm2下的晶圆通量较3400C提高18%，达到了160片，且机器匹配套准精度也会更高。3600D未来将成为台积电、三星3nm制程芯片的主要平台。

在此之后ASML还规划了NEXT、EXE：5000和EXE:5200等型号，NA口径将从EXE：5000提高到0.55，再次升级。需要注意的是，光刻机的生产、配置、培训等周期非常久，预计0.55NA的大规模应用会到2025~2026年，届时的工艺将达到2nm甚至1nm。

此外，ASML技术开发副总裁Tony Yen在近日接受媒体采访时表达了自己对摩尔定律的看法。在他看来，摩尔定律并没有失效或放慢了脚步。ASML认为摩尔定律可能还会再延续10年甚至更长。尽管三星、台积电等厂商在探讨3D集成的可能性，但未来二维缩放仍可以持续至少10年。