K-空间协会公司申请傅里叶陷波滤波器方法及系统专利,将薄膜温度的确定精确至+/‑0.25℃

金融界2025年5月10日消息,国家知识产权局信息显示,K-空间协会公司申请一项名为“傅里叶陷波滤波器方法及系统”的专利,公开号 CN119948322A,申请日期为 2024 年 6 月。

专利摘要显示,一种通过金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在多量子阱(MQW)薄膜生长过程中确定半导体薄膜温度的技术。随着薄膜的生长和厚度的增加,实时确定温度。在每个增量厚度上,生成基于来自薄膜的漫散射光的光谱。对每个光谱进行参考划分,以校正设备伪影。根据光谱确定薄膜厚度和光学吸收边波长值。通过使用光谱、厚度校准表和温度校准表,将薄膜温度确定为光学吸收边波长和薄膜厚度的函数。通过使用快速傅立叶变换(FFT)和陷波滤波器来将薄膜温度的确定精确至+/‑0.25℃。

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