金融界 2025 年 5 月 6 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“用于形成含稀土层的方法、设备和结构”的专利，公开号 CN119920681A，申请日期为 2024 年 10 月。

专利摘要显示，本公开涉及形成含稀土层的方法、设备和结构。该方法包括在处理室内提供衬底，并在衬底上沉积含稀土层。沉积含稀土层的过程包括将稀土前体提供到处理室中，将金属前体提供到处理室中，以及将一种或多种非金属元素反应物提供到处理室中。该设备包括处理室、用于将稀土前体和金属前体供应到处理室中的前体供应单元以及用于将一种或多种非金属元素反应物供应到处理室中的反应物供应单元。