金融界 2025 年 4 月 25 日消息，国家知识产权局信息显示，上海新傲芯翼科技有限公司申请一项名为“SOI 晶圆及其制造方法”的专利，公开号 CN119812097A，申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示，本发明提供 SOI 晶圆及其制造方法，通过执行热氧化工艺，在支撑衬底的正面和/或器件衬底的正面上形成埋氧层，且在支撑衬底的背面形成第一厚度的氧化层，在键合工艺之后，执行加固热处理工艺，以固化 SOI 晶圆，接着执行机械研磨工艺，以减薄 SOI 晶圆的厚度，其中，调整支撑衬底与器件衬底之间的埋氧层和支撑衬底背面的氧化层的厚度差和/或机械研磨工艺中的研磨应力，以使 SOI 晶圆的弯曲度满足预设值。本发明通过调节 SOI 晶圆中支撑衬底的背面氧化层和支撑衬底与器件衬底之间的埋氧层厚度差，匹配机械研磨工艺中的研磨应力，以使 SOI 晶圆的弯曲度满足预设值，减小了 SOI 晶圆的整体弯曲度，使后续的双面化学机械抛光工艺中的 SOI 晶圆更加均匀可控。

天眼查资料显示，上海新傲芯翼科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本80000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新傲芯翼科技有限公司参与招投标项目13次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息36条，此外企业还拥有行政许可4个。