金融界2025年4月18日消息，国家知识产权局信息显示，中导光电设备股份有限公司申请一项名为“一种基于3D模型关系的OCD测量方法”的专利，公开号CN119803283A，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种基于3D模型关系的OCD测量方法，包括：采集显微镜在不同高度时3D量测对象的平面量测结果，每个平面量测结果对应一个取图序号；建立平面量测结果、取图序号和3D量测对象的3D模型关系；根据所述平面量测结果、取图序号和3D量测对象的3D模型关系计算所述3D量测对象的光学关键尺寸。本发明的关键点是，（1）简单采用不同高度下的2D成像构建3D模型的方式；（2）利用G、B色光下量测对象的不同表现特征进行数据融合；（3）利用数据的收敛和波动规律推断感兴趣的关键尺寸。本发明的优点在于：通过大量的数据验证，该方法稳定性和准确性较好，和CDSEM匹配度较高。

天眼查资料显示，中导光电设备股份有限公司，成立于2006年，位于肇庆市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本17650万人民币。通过天眼查大数据分析，中导光电设备股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目104次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息80条，此外企业还拥有行政许可51个。