ASML 荷兰有限公司申请从低分辨率图像中获得高分辨率信息专利,产品模型可包括重构图像具有比低分辨率图像高的分辨率

金融界 2025 年 4 月 30 日消息,国家知识产权局信息显示,ASML 荷兰有限公司申请一项名为“从低分辨率图像中获得高分辨率信息”的专利,公开号 CN119895330A,申请日期为 2023 年 7 月。

专利摘要显示,本发明提出了一种方法,使用通过一个或多个成像过程而被生产的至少一个产品的低分辨率图像以及表征成像过程的成像模型来确定多个数值参数的值,多个数值参数共同定义至少一个产品的产品模型。值的确定是通过基于获取图像、成像模型和模型的数值参数形成损失函数,并且执行最小化算法以使损失函数相对于数值参数最小化来执行的。由于在损失函数中进行编码的产品的先验知识,产品模型可以包括重构图像,具有比低分辨率图像高的分辨率。

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