大连恒坤申请一种改性氮化硅薄膜及其制备方法和应用专利,解决现有制备工艺致密度低问题

金融界 2025 年 4 月 9 日消息,国家知识产权局信息显示,大连恒坤新材料有限公司申请一项名为“一种改性氮化硅薄膜及其制备方法和应用”的专利,公开号 CN 119776805 A,申请日期为 2025 年 1 月。

专利摘要显示,本发明属于半导体材料的技术领域,公开了一种改性氮化硅薄膜及其制备方法和应用本发明提供的改性氮化硅薄膜的制备方法包括采用热原子层沉积向所述反应室中依次引入硅前驱体和金属掺杂碳点进行化学吸附后,再采用氮源等离子气体进行反应以最终得到改性氮化硅薄膜。本发明提供的制备方法有效地解决了现有制备工艺制备得到的氮化硅薄膜所存在的致密度低的问题,所获得的改性氮化硅薄膜兼具较低介电常数和较高密度的薄膜,能够很好地被应用于半导体工业和/或微电子领域中,具有良好的应用前景。

天眼查资料显示,大连恒坤新材料有限公司,成立于2018年,位于大连市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本25000万人民币,实缴资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,大连恒坤新材料有限公司参与招投标项目11次,专利信息34条,此外企业还拥有行政许可37个。

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