国科天骥申请磺酸锍盐类光致产酸剂专利,改善光刻图案的边缘粗糙度和DOF

金融界2025年4月23日消息,国家知识产权局信息显示,国科天骥(山东)新材料有限责任公司申请一项名为“一种磺酸锍盐类光致产酸剂及其合成方法和应用”的专利,公开号CN119841754A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明涉及一种式I所示的磺酸锍盐类光致产酸剂,其合成方法及含有该光致产酸剂的光刻胶组合物。本发明的光致产酸剂具有较大的分子量,可降低光致产酸剂在使用过程中的扩散,有利于改善光刻胶的工艺窗口和边缘粗糙度。此外,本发明的光致产酸剂制备方法简单,可通过简单的重结晶步骤得到高纯度产品。并且,本发明的光致产酸剂相对于现有的ArF光刻用光致产酸剂,显著改善了所得光刻图案的边缘粗糙度和DOF。

天眼查资料显示,国科天骥(山东)新材料有限责任公司,成立于2019年,位于滨州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,国科天骥(山东)新材料有限责任公司专利信息23条,此外企业还拥有行政许可15个。

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