格隆汇1月20日丨阿斯麦(ASML.US)下一代EUV设备再飙上新天价，该设备因为精密度更高与设计零件更多价格水涨船高，其中最新款由英特尔率先在2022年初下订的机种EXE:5200系统报价逾3.4亿美元，较前一代价格增逾13%，再创历史新高。EXE:5200为 0.55数值孔径High-NA EUV微影技术首度商转，英特尔目标该设备2025年量产。

台积电大举拉高资本支出多数用于先进制程。业界认为，先进制程3奈米发展至2奈米最关键在下一代EUV设备的熟练生产，同时英特尔、三星也积极投入相关设备预定采购。

阿斯麦统计，在去年第4季High-NA EUV(TWINSCAN EXE:5000)系统已有5台在手订单，业界推估每台报价已约3亿美元，来自三个主要客户。