金融界 2025 年 5 月 6 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“用于基座调平的方法和设备”的专利，公开号 CN119920721A，申请日期为 2024 年 10 月。

专利摘要显示，本技术的各种实施例可以提供具有联接到基座轴的调节机构的基座。柔性旋转轴可以联接到调节机构，并且马达可以连接到柔性旋转轴以旋转调节机构。调节机构可以是在水平方向上移动基座的机构，或者是在竖直方向上移动基座的机构。