金融界 2025 年 5 月 7 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“形成镁铟锌氧化物(MIZO)层的气相沉积过程”的专利，公开号 CN119913479A，申请日期为 2024 年 10 月。

专利摘要显示，提供了通过气相沉积形成镁铟锌氧化物(MIZO)层的方法。在一些实施例中，用于形成 MIZO 层的循环沉积过程包括沉积循环，该沉积循环包括在反应室中交替且顺序地使衬底与气相铟前体、气相锌前体、气相镁前体和氧反应物接触。