安集微电子申请蚀刻组合物及其用途专利,实现对Co的可调节蚀刻

金融界2025年5月5日消息,国家知识产权局信息显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司申请一项名为“一种蚀刻组合物及其用途”的专利,公开号CN119913513A,申请日期为2023年10月。

专利摘要显示,本发明提供了一种蚀刻组合物,包括水,有机溶剂,表面活性剂和酸。采用上述技术方案后,可以实现对Co的可调节蚀刻,使其蚀刻速率可调节,以配合不同的生产需求;同时与TiN、Ti、SiO2、SiN等材料具有较好的相容性,且工艺操作窗口大,具有广阔的应用前景。

天眼查资料显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司,成立于2006年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12921.3274万人民币。通过天眼查大数据分析,安集微电子科技(上海)股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目29次,专利信息226条,此外企业还拥有行政许可86个。

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