主动电控气动隔振提供 6 个自由度的控制。

最佳隔振性能 ， 无共振时产生的任何增强现象。重直和水平两个平面都有非常出色的水平精度 。

机器内的部件质量发生加速和减速移动后偏 差和沉降时间最短。沉降时间越短， 即等于机器产能越大。

非常有效的实时控制。每个自由度由 PLC, CA N 总线，一个控制器， 一个高速电控气动伺服阀进行控制。

每个控制器由一个微处理器， 位置、空气压力和加速集成 高分解率传感器组成。

操作使用方便， 用于设定和优化 AI S 并提供系统诊断的智能化 Wi nSN I

软件。

通过使用数字式 I/ 0 可以简单地选择两种不同的操作模式 ， 例如： 扫

描模式（在敏感机器运行过程中）到加载模式（在机器内的运动质 冕） 不需要从机器的控制器要求给进信号。

无由于电磁起动器／电动机而生成的干扰热量， 磁性变化或者高电力消耗现象。

应用

最佳隔振性能， 用于存在高动态力、进行灵敏度测 量和检验的机器， 平版印刷设备， 激光设备， 高分辨电子显微镜， 以及半导体工业机械。当常规的带电控气动水平调整系统的 空气弹簧隔振和沉降时间效率不充分时可以使用 AIS。

AIS 具有两个主要功能：

一个功能是保护精密设备受到地面振动的影响。另一个功能是通过降低机 器内运动件加速和减速时 产生的高动态力造成的结构性振动现象来提 高机器的性能。并且， 降低了沉降时间， 从而减少机器在可以进行敏感运行前的延时现象。

设计

气动水平振动隔离装置 HABTM结构为筒形顶和底外壳。被放置在两个外壳之间的环形空间中的空气管能够产生水平力，以抵御两个外壳之间产生的任何运动。

HABTM 水平力或者固有频率可 以通过改变这些空气管的空气压力进行调整 。专门设计的空气轴承可以承受垂直承载力， 并在顶部和底部外壳之间提供供无摩擦的水平平滑运动。