路维光电:目前已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产

2023年9月22日,路维光电(688401.SH)近期在接受调研时表示,目前公司已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产,满足先进半导体芯片封装、半导体器件、先进指纹模组封装、高精度蓝宝石衬底(PSS)等产品应用。公司通过自主研发,储备了150nm节点半导体掩膜版制造核心技术,同时公司已掌握的半导体掩膜版制造技术可以覆盖第三代半导体相关产品,为我国半导体行业的发展提供关键的上游材料国产化配套支持。

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