应用材料公司取得用于通过PECVD进行Si间隙填充的方法专利

金融界2025年4月16日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司取得一项名为“用于通过PECVD进行Si间隙填充的方法”的专利,授权公告号CN112335032B,申请日期为2019年3月。

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