中科飞测获得发明专利授权:“一种检测设备及检测方法”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种检测设备及检测方法”,专利申请号为CN201911095201.3,授权日为2024年12月3日。

专利摘要:本发明公开了一种检测设备及检测方法。检测设备包括第一检测系统和第二检测系统,第一检测系统的照明装置发出的第一检测光在待测物表面形成第一光斑,第一检测系统的第一探测装置用于接收第一检测光经待测物表面形成的第一信号光;第二检测系统的照明装置发出的第二检测光在待测物表面形成第二光斑,第二检测系统的第二探测装置用于接收第二检测光经待测物表面形成的第二信号光;第二光斑的亮度大于第一光斑的亮度。检测方法为:通过第一检测系统对待测物表面进行第一检测处理,获取待测物表面的缺陷的尺寸;当缺陷的尺寸小于或等于预设值时,通过第二检测系统对待测物表面进行第二检测处理。该检测设备及检测方法具有较高的检测效率。

今年以来中科飞测新获得专利授权117个,较去年同期减少了3.31%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.07亿元,同比增114.22%。

数据来源:天眼查APP

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