2月17日，在宁波创润新材料有限公司厂房内，全球首个直径达800毫米、重量超过3吨、高度超过1.2米的低氧超高纯钛单锭“出炉”。

超高纯钛锭含氧量低、纯度高，目前已广泛应用于极大规模集成电路用溅射靶材制备，以及核电、医疗、军工、航空航天、新能源等领域。随着市场对更大锭型的需求，创润新材料也在不断挑战其核心熔炼技术，从最初的直径200毫米，到400毫米、600毫米、800毫米，成功实现技术突破。

既然是全球首个，必然意味着研发过程是漫长且艰难的。“除了需要团队的长期专注与把控，对机器的要求也很高，需要有匹配的功率、精准的电子束扫描和精确的角度、高要求的冷却标准，还要达到整体锭型的光洁。”公司熔炼工艺技术总监王会云说。为了打破生产机器被国外企业垄断，购买价格高昂的现状，创润新科技与北京有色金属研究总院共同合作，投入4000余万元自主研发出了两台符合更大锭型生产需求的电子束冷床熔炼炉，并于去年底完成安装，今年春节后就投入到生产准备中。“这一四年前提出的设想，经过不断铺垫与积累，终于一举成功了。”创润新材料董事长兼总经理吴景晖激动地说。

谈及大锭型的优势，吴景晖介绍道，就客户需求来讲，越大的锭型给予后续加工更多空间，整体的成材率会有很大的补足，产品品质也能得到进一步提高。就企业自身来讲，开炉期间通过技术更新熔炼出更大锭型，也可以缩短整体的开炉时间，降低成本。“第一根锭就能达到这个水平，这是对我们团队全情投入的最好回报。下一步除了量产这一锭型外，我们也在考虑研发直径达到1米的锭型，更广泛地服务不同市场。”吴景晖说。

创润新材料是目前国内唯一一家半导体级99.999%低氧超高纯钛合格供应商，实现了半导体级低氧超高纯钛的国产替代，打破国外企业长期垄断局面。近年来，公司先后参与、主导了国家02专项（子课题）、国家发改委产业振兴项目、国家科技中小型企业技术创新基金等项目，申请专利80多项，授权专利40余项，每年投入的研发费用占年产值的15%以上。去年，公司年产值达1.5亿元，同比增长50%。

来源：余姚市科技局