金融界2025年4月15日消息，国家知识产权局信息显示，广州三义激光科技有限公司申请一项名为“一种大尺寸晶圆广域激光抛光装置及抛光方法”的专利，公开号CN 119820081 A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，一种大尺寸晶圆广域激光抛光装置及抛光方法，包括激光器、准直镜、中间反射镜、半透半反镜、聚焦镜、CCD自动调焦系统、末端反射镜、喷气器和加工运动平台，准直镜竖直设置，中间反射镜和半透半反镜相互平行并与水平面呈45度角，末端反射镜用于接收并反射来自于聚焦镜的激光束，使激光束斜入射至待加工表面上，CCD自动调焦系统用于动态调整末端反射镜的角度，调整激光束的焦点位置，确保激光束始终准确地聚焦在待加工位置处；喷气器用于在加工过程中提供辅助气体以及吹走抛光时产生的熔渣和氧化物。本发明突破了传统聚焦镜工作距离短和振镜焦深大的双重限制，解决了加工精度和加工尺寸不能两全的问题，提高了加工质量。

天眼查资料显示，广州三义激光科技有限公司，成立于2012年，位于广州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本587.8822万人民币。通过天眼查大数据分析，广州三义激光科技有限公司参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息43条，此外企业还拥有行政许可5个。