应用材料公司取得用于光刻应用的膜堆叠专利

金融界 2025 年 4 月 19 日消息,国家知识产权局信息显示,应用材料公司取得一项名为“用于光刻应用的膜堆叠”的专利,授权公告号 CN113490997B,申请日期为 2020 年 2 月。

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