证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体电感线圈结构、等离子体处理设备以及处理方法”，专利申请号为CN201911424310.5，授权日为2024年2月9日。

专利摘要：本申请实施例公开了一种等离子体电感线圈结构，电感线圈的第一部分产生的磁场强度大于第二部分产生的磁场强度，从而使得电感线圈形成不对称的磁场，而且至少2个电感线圈包括的第一电感线圈的第一部分在预设平面内的投影与第二电感线圈的第二部分在预设平面内的投影在第一方向上至少部分重叠，以补偿第二电感线圈的第二部分产生的磁场强度的大小，同时第一电感线圈的第二部分在预设平面内的投影与第二电感线圈的第一部分在预设平面内的投影在第一方向上至少部分重叠，以补偿第一电感线圈的第二部分产生的磁场强度的大小，又由于在与第一电感线圈电连接的第一电容和与第二电感线圈电连接的第二电容中，至少有一个电容为可调电容，解决刻蚀不均匀现象。

今年以来中微公司新获得专利授权8个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。